SOLSTICE Advanced Electropla/ng Tools for the Rest of - - PowerPoint PPT Presentation

C l a s s O n e ¡ T e c h n o l o g y : ¡ A d v a n c e d ¡ W e t ¡ P r o c e s s i n g ¡ E q u i p m e n t ¡ f o r ¡ t h e ¡ R e s t ¡ o f ¡ U s ¡

SOLSTICE ¡

Advanced ¡Electropla/ng ¡Tools ¡ ¡ for ¡the ¡Rest ¡of ¡Us ¡

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C l a s s O n e ¡ T e c h n o l o g y : ¡ A d v a n c e d ¡ W e t ¡ P r o c e s s i n g ¡ E q u i p m e n t ¡ f o r ¡ t h e ¡ R e s t ¡ o f ¡ U s ¡

The ¡big ¡equipment ¡manufacturers ¡ focus ¡on ¡big ¡leading-­‑edge ¡300mm ¡tools ¡— ¡ which ¡are ¡too ¡expensive ¡for ¡many ¡users ¡ ¡ Many ¡users ¡just ¡need ¡a ¡good ¡solid ¡tool ¡ ¡ that’s ¡designed ¡for ¡≤200mm ¡substrates… ¡ ¡ At ¡a ¡much ¡more ¡affordable ¡price! ¡

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Addressing ¡a ¡major ¡problem ¡ in ¡the ¡equipment ¡industry… ¡ ¡

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New ¡SolsHce ¡plaHng ¡systems ¡address ¡ those ¡needs ¡specifically ¡ ¡

U/lizing ¡today’s ¡advanced ¡technology ¡ ¡ Addressing ¡200mm ¡and ¡smaller ¡substrates ¡ ¡ And ¡with ¡significantly ¡reduced ¡pricing ¡— ¡ Half ¡compared ¡with ¡the ¡Big ¡Guys! ¡

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Three ¡complementary ¡SolsHce ¡tools: ¡

¡ ¡ ¡ ¡ ¡Model ¡LT ¡ ¡ for ¡Development ¡

2 ¡Chambers ¡

4 ¡

¡ ¡ ¡ ¡ ¡Model ¡S8 ¡ for ¡Volume ¡ProducHon ¡

4-­‑6-­‑8 ¡Chambers ¡

¡ ¡ ¡ ¡ ¡Model ¡S4 ¡ for ¡ProducHon ¡

4 ¡Chambers ¡

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SolsHce ¡LT ¡— ¡ A ¡powerful ¡plaHng ¡development ¡tool ¡ ¡

Manual ¡wafer ¡load/unload ¡ Automated ¡recipe ¡execu/on ¡ 4-­‑inch ¡to ¡8-­‑inch ¡wafer ¡capability ¡ One ¡or ¡two ¡chambers ¡and ¡chemistries ¡ Chambers ¡and ¡soWware ¡match ¡S4/S8 ¡ ¡

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SolsHce ¡S4 ¡and ¡S8 ¡— ¡ Automated ¡volume ¡producHon ¡tools ¡

CasseZe-­‑to-­‑casseZe ¡automa/on ¡ Up ¡to ¡75wph ¡throughput ¡ Automated ¡recipe ¡execu/on ¡ ¡ Up ¡to ¡8 ¡chambers ¡and ¡chemistries ¡ 4-­‑inch ¡to ¡8-­‑inch ¡wafer ¡capability ¡ ¡

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SolsHce ¡gives ¡major ¡advantages ¡ ¡

• ver ¡wet ¡bench ¡plaHng ¡

BeZer ¡wafer ¡uniformity ¡ Less ¡wafer-­‑to-­‑wafer ¡varia/on ¡ Reduced ¡scrap ¡ Less ¡human ¡exposure ¡to ¡chemicals ¡ Faster ¡pla/ng ¡rates ¡ Higher ¡yields ¡

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SolsHce ¡serves ¡many ¡market ¡sectors ¡ ¡ that ¡use ¡≤200mm ¡substrates ¡

MEMS ¡ LEDs ¡ Sensors ¡ Power ¡ RF ¡ Photonics ¡ Wafer ¡Level ¡Packaging ¡ ¡ Analog ¡/ ¡Discrete ¡ Automo/ve ¡ And ¡more… ¡

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Applying ¡today’s ¡technology ¡to ¡ today’s ¡process ¡needs ¡

Ni, ¡Cu, ¡Au, ¡Sn, ¡Ag, ¡Alloys ¡ Cu ¡RDL, ¡Cu ¡Pillar, ¡Cu ¡Damascene ¡ TSV ¡Fill, ¡Cu ¡or ¡NiW ¡ Au ¡Pads ¡and ¡Contacts, ¡Cyanide ¡or ¡Sulfite ¡ Lead-­‑free ¡Solders ¡ Indium, ¡Permalloy, ¡Exo/cs ¡ Electroly/c, ¡Electroless ¡and ¡Anodiza/on ¡

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SolsHce ¡is ¡Demonstrated ¡at ¡ClassOne’s ¡world-­‑class ¡ applicaHons ¡and ¡product ¡development ¡lab ¡

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Designed ¡and ¡driven ¡by ¡a ¡world-­‑class ¡team ¡of ¡wet ¡ processing ¡professionals ¡

11 ¡

Win Carpenter VP, Sales

27+ yrs wet processing

Byron Exarcos President

11+ yrs wet processing

Tim McGlenn VP, Development

26+ yrs wet processing

Kevin Witt VP, Technology

11+ yrs wet processing

Dean Campbell VP, Manufacturing

20+ yrs wet processing

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Backed ¡by ¡world-­‑wide ¡sales ¡and ¡support ¡

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Atlanta, GA Kalispell, MT London, UK Singapore Shanghai, China Israel

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SolsHce: ¡A ¡unique ¡new ¡class ¡ ¡

• f ¡plaHng ¡tools ¡that ¡deliver… ¡

The ¡performance ¡you ¡need ¡ ¡ At ¡a ¡price ¡you ¡can ¡afford! ¡

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