C o n t e n t s T e c h n o l o g y D e f i n - PDF document

C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m M i n i s t r y o f S c i e n c e a n d T e c h n o l o g y O v e r v i e w o f N a n o s c a l e Me c h a t r o n i c s& Ma n u f a c t u r i n g T e c h n o l o g y i n K O R E A K o r e a - U . S N a n oF o r u m 2 0 0 3 . 1 0 . 1 4 ~ 1 5 S . R . L e e Center for Nanoscale Mechatrinocs & Manufacturing(CNMM) 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T http:// www.nanomecca.re.kr C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) C o n t e n t s T e c h n o l o g y D e f i n i t i o n I n t r o d u c t i o n o f C N MM P r o g r a m R & D R e s u l t s f o r t h e 1 s t y e a r C l o s i n g R e ma r k s 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T 1

C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) T e c h n o l o g y D e f i n i t i o n 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) D e f i n i t i o n N a n o t e c h n o l o g y N a n o ma t e r i a l s N a n o p r o c e s s 1 0 0 n m- 1 n m N a n o p a r t i c l e s , a d v a n c e d s t r u c t u r e ma t e r i a l s , f u n c t i o n a l mo l e c u l e s N a n o p r o c e s s N a n o d e v i c e s C h e mi s t r y - b a s e d p r o c e s s N e w c o n c e p t d e v i c e s B i o p r o c e s s ( d a t a s t o r a g e , r e v o l u t i o n i z e d t r a n s p o r t s p e e d ) P h y s i c s - b a s e d p r o c e s s N a n o s y s t e ms 1 0 0 n m- 1 0 n m Mi n i a t u r i z e d s y s t e m N a n o s c a l e Me c h a t r o n i c s& Ma n u f a c t u r i n g 1 0 0 n m- 1 0 n m, e c o n o mi c / ma s s p r o d u c i b l e / h i g h p r o d u c t i v i t y , n a n o p r o c e s st e c h n o l o g y / e q u i p me n t 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T 2

C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) R & D s c o p e f o r N a n o me c h a t r o n i c sT e c h . Di me n s i o n a l Sc a l e 1 ㎜ 1 0 0 ㎛ T o p - d o wn Ap p r o a c h 1 0 ㎛ P r e c i s i o n & Ul t r a p r e c i s i o n Ma c h i n i n g 1 ㎛ L i t h o g r a p h y N a n o E n e r g y Be a ms 1 0 0 ㎚ me c h a t r o n i c s Na n o t e c h n o l o g y t e c h n o l o g y 1 0 ㎚ Bi o c h e mi s t r y Na n o p h a s e Ma t e r i a l s 1 ㎚ Ch e mi s t r y Bo t t o m- u p Ap p r o a c h 0 . 1 ㎚ 1 9 4 0 1 9 5 0 1 9 6 0 1 9 7 0 1 9 8 0 1 9 9 0 2 0 0 0 2 0 1 0 Ye a r R o g e r , “ N a n o t e c h n o l o g y ” , I n g e n i a , 2 0 0 1 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) C o n t ’ d M 1 0 0 0 0 1 . E + 1 2 A 1 . E + 1 1 R m) D 1 . E + 1 0 D R A M / n s ( 2 5 6 Mb r 1 0 0 0 1 . E + 0 9 o h t t 1 . E + 0 8 s d i i 1 6 Mb s w 1 . E + 0 7 n . a 1 Mb n r L i mi t 1 0 0 1 . E + 0 6 Mi T 6 4 K b f 1 . E + 0 5 o o 4 K b 1 . E + 0 4 N 1 0 1 . E + 0 3 1 9 7 0 1 9 8 0 1 9 9 0 2 0 0 0 2 0 1 0 2 0 2 0 Y e a r C h r i s t i e , “ F r o m Mi c r o e l e c t r o n i c s t o N a n o e l e c t r o n i c s ” , D A R P A T e c h 2 0 0 0 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T 3

C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) C o n t ’ d � C u r r e n t t e c h n o l o g y 1 1 0 0 0 0 g - l i n e i - l i n e 1 1 0 0 K r F E U V A r F X - r a y F 2 1 1 ) s / C e l l e - b e a m m 2 c ( 0 0 . . 1 1 e t I o n B e a m a r s s e 0 0 . . 0 0 1 1 c N a n o ma t u r i n g o r P S i n g l e P o i n t e - b e a m I mp r i n t i n g ( 2 0 - 4 0 n m) 0 0 . . 0 0 0 0 1 1 I n k i n g ( 3 0 - 5 0 n m) S P M( 1 5 n m) 0 0 . . 0 0 0 0 0 0 1 1 1 0 1 0 0 Mi n . w i d t h ( ( n n m) m) T e c h n i c a l R o a d ma p N a n o e l e c t r o n i c s , 2 0 0 0 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) Ma r k e t P r e d i c t i o n � 7 . 7 % i n c r e a s e e v e r y y e a r , a n d r e a c h e s a b o u t 7 . 7 t r i l l i o n $ ( a t 2 0 1 0 ) 5 , 4 5 7 $ 2 0 0 0 2 0 1 0 2 0 2 0 n o i l l i B 2 , 2 8 1 1 , 4 0 2 1 , 2 7 5 1 , 0 0 9 4 9 9 S e mi c o n d . / I n f o r ma t i o n / O p t i c s B T E n v i r o n . / I I E l e c t i o n i c s C o mm. E n e r g y 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T 4

C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) I n t r o d u c t i o n o f P r o g r a m 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T C e n t e r f o r N a n o s c a l e Me c h a t r o n o c s& Ma n u f a c t u r i n g ( C N MM) O u t l i n e T h e d e v e l o p me n t o fn a n o s c a l e me c h a t r o n i c s a n d ma n u f a c t u r i n g p r o c e s s / e q u i p me n t s f o r t h e i n d u s t r i a l i z a t i o n o f n a n o t e c h n o l o g y N a n o s c a l e me c h a t r o n i c s & ma n u f a c t u r i n g Me c h a t r o n i c s S S ma ma r r t t e e r r , , C h e a p e r , C h e a p e r , N a n o p r o d u c t s a a n n d d f f a a s s t t e e r r N a n o s c i e n c e 2 1 C F r o n t i e r R & D P r o g r a m , M O S T 5